作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机💃🏍的主机系统总🏳🞆装调试完成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑🉠🈮上怎么也解释不清楚。
带着这🆊种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工🌠🀠作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器🁪🈨🀶屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统🟃🚚完成一次模拟光刻执行程💃🏍序以⛚后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复📔🚦🕧精度小🏂于0.001毫米，数据正🏳🞆常。”
“报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会🁄对光刻程序造成影响。”
“🕂报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“🕂这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员们非常🞭专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统🌋♎的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团🟃🚚队已经完成了激光光源的💃🏍能量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成🛬了第一遍激光光源的光💃🏍谱测试，激光在🔑⛥🜜空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看🆊来，米国佬的这台激光光源系统没有质量问题⛚，性能非常稳定。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套👮🌍♝系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什🍁🅇么鬼情况？”