作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后，其实已经测试过很多🏁🗄次。倘若数据不过关🏔，项目负责人胡明镇是不会立即做光刻🁅🃗🗹机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺🅯陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么也解释不🀴清楚。
带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作🙠站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏😒幕。⛾☙⛠
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主🅅🄎机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复精度小于0🔿.001毫米，数据🍌🆨💅正常。”
“报告万总，主机系统的震动量误差都🔿在量级以内，不会对光刻⚸🖏程序造成影响。”
“报告万总🔨，主机系统的功率输出一直都非常稳定，😃⚖模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。🈬”
“……”
技术员们非常专注，每出现一个🜡🃪数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这💅事有点🀴蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程，一切也正🈬常🎳🕋。
不但💻如此，他们已经完成了🜥第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常🔲🄟范围之内。
由此看来，米国佬的♧🔗这台激🜥光光源系统没有质量问题😃⚖，性能非常稳定。
看到这一幕🔨，梁🅅🄎宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”